Transpector® APX ALD Single Pressure
Expertul avansat în procese pentru ALD/CVD și gravare cu o singură presiune.
Minimizează deșeurile și maximizează randamentul în timp real
INFICON Transpector APX rămâne analizorul de gaze reziduale (RGA) lider de piață pentru monitorizarea proceselor de semiconductori și afișaje. INFICON știe că clienții din domeniul semiconductorilor și afișajelor au nevoi unice, iar cea mai recentă revizie a Transpector APX permite o mai mare flexibilitate pentru a satisface cerințele specifice ale aplicațiilor, menținând în același timp viteza și sensibilitatea de măsurare de top în industrie. Transpector APX este monitorul de proces RGA ideal pentru procesele de semiconductori, cum ar fi ALD, CVD, PVD și gravare.
Sistemul de intrare cu o singură presiune Transpector APX ALD de generație următoare este conceput pentru a supraviețui chimiilor de proces predispuse la generarea de particule sau acoperiri, cum ar fi ALD sau PECVD. Acest lucru permite monitorizarea continuă pentru a captura puncte de date în toate etapele critice ale procesului. În plus, intrarea este controlată prin temperatură pentru rezistență la gazele corozive, esențială pentru aplicațiile de monitorizare a punctului final al camerei curate.
Avantaje
- Design de platformă specific aplicației pentru cea mai lungă durată de viață a procesului ALD sau CVD pentru cea mai bună protecție a napolitanelor și panourilor și optimizarea procesului
- Compatibilitate ALD cu viteze de măsurare de peste 550 de puncte de date pe secundă
- Amprentă redusă a fabricii cu 30% și instalare mai ușoară datorită sistemului de pompare de înaltă performanță
- Intrare cu temperatură controlată cu acoperire proprie INFICON pentru o intrare discretă sub presiune care poate rezista la substanțe chimice corozive dure
- Calibrarea automată asigură fiabilitatea și precizia datelor pe termen lung pentru potrivirea senzor-senzor și a camerei sculei-sculei
- Transpector APX devine un instrument puternic de monitorizare și diagnosticare a proceselor atunci când este integrat cu software-ul FabGuard® și este susținut de experții în aplicații de talie mondială INFICON
| 100 AMU | |
|---|---|
| Specificații Tehnice | Detalii / Valori |
| Interval Presiune Totală |
5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar |
| Limită de Detecție | < 10 ppb |
| Interval Presiune de Proces |
1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm |
| Sensibilitate (Emisie Joasă) |
> 4.0E-6 A/Torr > 3E-6 A/mbar |
| Sensibilitate (Emisie Ridicată) |
> 2.0E-5 A/Torr > 1.5E-5 A/mbar |
| 200 AMU | |
|---|---|
| Specificații Tehnice | Detalii / Valori |
| Interval Presiune Totală |
5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar |
| Limită de Detecție | < 25 ppb |
| Interval Presiune de Proces |
1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm |
| Sensibilitate (Emisie Joasă) |
> 2.0E-6 A/Torr > 1.5E-6 A/mbar |
| Sensibilitate (Emisie Ridicată) |
> 1.0E-5 A/Torr > 7.6E-6 A/mbar |
| 300 AMU | |
|---|---|
| Specificații Tehnice | Detalii / Valori |
| Interval Presiune Totală |
5E-7 – 1E-3 Torr 6.6E-7 – 1.3E-3 mbar |
| Limită de Detecție | < 50 ppb |
| Interval Presiune de Proces |
1E-8 Torr – 1.2 atm 1.3E-8 mbar – 1.2 atm |
| Sensibilitate (Emisie Joasă) |
> 1.0E-6 A/Torr > 7.6E-7 A/mbar |
| Sensibilitate (Emisie Ridicată) |
> 5.0E-6 A/Torr > 3.8E-6 A/mbar |
Afișaj
INFICON acceptă tehnologie de vârf și permite produse de afișare de cea mai înaltă calitate.
IDM și turnătorie de semiconductori
Senzori adaptați pentru a susține o gamă largă de aplicații, asigurând siguranța produsului, randament crescut și productivitate maximă.
Producător de scule semiconductoare
Industria semiconductorilor cuprinde proiectarea, fabricarea, asamblarea și testarea circuitelor integrate pentru utilizare în procesarea datelor, comunicații, electronică de larg consum, industria auto, etc.
Acoperire în vid
Piețele de acoperire în vid depășesc cu mult limitele opticii și se extind rapid în arene, industrii și straturi de peliculă care erau aproape de neimaginat acum doar zece ani.