HPG400
De la ATM la manometru de vid înalt
Manometrul Pirani cu ionizare la cald de înaltă presiune INFICON, HPG400, combină senzorii de ionizare la cald de înaltă presiune și senzorii Pirani într-un singur pachet compact și economic pentru a măsura presiunea de la 2×10-6 mbar la atmosferă (1,5×10-6 Torr la atmosferă).
HPG400 oferă măsurarea presiunii cu o repetabilitate și o reproductibilitate ridicate pentru un control precis al presiunii în procesul de pulverizare catodică.
Avantaje
- HPG400 economisește costuri și spațiu alocat sculelor și reduce complexitatea instalării și configurării sistemului de vid
- Manometrul de ioni calzi de înaltă presiune oferă măsurători precise și fiabile ale presiunii de la 1×10-5 … 1 mbar pentru un control îmbunătățit al procesului
- Activarea emisiilor de ioni calzi selectabilă de utilizator între 5×10-2 și 1 mbar
- Blocarea Pirani protejează filamentul fierbinte de arderea prematură
- Disponibile opțional afișaj grafic și interfețe Fieldbus
- Reglarea automată Pirani pentru vid înalt reduce intervențiile operatorului
- Conformitate cu RoHS
Aplicații tipice
- Aplicații prin pulverizare în fabricarea semiconductorilor, electronică și industria media
- Acoperire industrială
- Măsurare și control general al vidului în intervalul de vid scăzut până la ridicat
| Interval de măsurare (aer, N2) |
2 × 10-6 … 1000 mbar 1,5 × 10-6 … 750 Torr |
| Precizie: 10-5 … 1 mbar | ±15% din valoarea citită (1) |
| Repetabilitate: 10-5 … 10-1 mbar | ±2% din valoarea citită |
| Repetabilitate: 10-1 … 100 mbar | ±30% din valoarea citită |
| Temperatură de operare (ambiantă) | 0 … +50 °C |
| Temperatură de depozitare | -20 … +70 °C |
| Temperatură de degazare (Bakeout) la flanșă | ≤ 80 °C |
| Temperatură de degazare (Bakeout) cu electronica demontată | ≤ 150 °C |
| Tensiune de alimentare | 20 … 28 V (dc) |
| Consum curent | 0,8 A (dc) |
| Materiale expuse la vid | Y2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, oțel inoxidabil, sticlă |
| (1) Precizia de la 10-5 mbar până la valoarea selectată pentru activarea emisiei ionice (hot ion emission). | |
Instrumentație analitică
Oferă suport utilizatorilor dintr-o gamă largă de aplicații și piețe cu instrumentele lor extrem de sofisticate.
Baterie
De la producția de electrozi până la testarea la capătul liniei
Afișaj
INFICON acceptă tehnologie de vârf și permite produse de afișare de cea mai înaltă calitate
Energie
Producția de petrol și gaze a înregistrat o creștere a cererii în ultimele decenii și este propulsată de creșterea populației, urbanizare și clasa de mijloc a consumatorilor din țările în curs de dezvoltare.
Producție industrială
Vidumul este folosit mai des pentru a garanta un mediu curat și este necesar pentru mai multe procese, însă fără vid nu funcționează.
Mobilitate și industria auto
Testarea fiabilă a scurgerilor într-o industrie în continuă evoluție. Schimbările din industria auto fac testarea scurgerilor și mai importantă.
Cercetare și mediul academic
Dezvăluim cele mai intime mistere ale universului prin cercetare fundamentală. Oferim inovația de astăzi care dă putere tehnologiilor viitorului tău.
Farmaceutică și medicală
Creșterea productivității și contribuția la îndeplinirea standardelor de conformitate și a cerințelor de calitate în industria farmaceutică
IDM și turnătorie de semiconductori
Senzori adaptați pentru a susține o gamă largă de aplicații, asigurând siguranța produsului, randament crescut și productivitate maximă
Acoperire în vid
Piețele de acoperire în vid depășesc cu mult limitele opticii și se extind rapid în arene, industrii și straturi de peliculă care erau aproape de neimaginat acum doar zece ani.