Transpector® XPR 3+
RGA cu Interval de Presiune Extins – Inovație prin Senzorizare
Monitorizare și Control Schimbări Rapide ale Procesului
Noul Analizor de Gaze Reziduale (RGA) Transpector XPR 3+ oferă viteze de măsurare de top în industrie pentru a monitoriza și controla schimbările rapide ale procesului necesare pentru fabricarea modernă de semiconductori și afișaje. Transpector XPR 3+ este ideal pentru monitorizarea in situ a scurgerilor de aer, a purității gazelor, a hidrocarburilor și a contaminării. Măsurarea în timp real cu Transpector XPR 3+ oferă o protecție mult superioară a produsului în comparație cu testele periodice cu rată de creștere.
Creșterea Rentabilității prin Maximizarea Duratei de Funcționare a Sculelor
Transpector XPR 3+ RGA este un senzor cuadripol și cu sursă dublă de ioni, dovedit pe teren, pentru aplicații de presiune prin pulverizare catodică. Nu este necesar niciun echipament de conversie a presiunii, componentele cu durată lungă de viață și capacitatea de a detecta și diagnostica rapid problemele se combină pentru a maximiza disponibilitatea sculelor, debitul produsului și randamentul. Senzorul poate fi operat continuu de la vid înalt până la 20 mTorr, fără a fi nevoie de pompe. Camerele sursei duale de ioni Transpector XPR 3+ sunt proiectate pentru a limita acoperirea, pentru a menține sensibilitatea sursei de ioni și a prelungi timpul mediu de întreținere al senzorului.
Avantaje
- Protecție în timp real a napolitanelor și panourilor datorită detectării de înaltă sensibilitate a scurgerilor de aer și a contaminării, de la vid înalt până la presiunile procesului PVD
- Maximizarea eficienței PM și a timpului de funcționare al sculelor, cu calificare rapidă și fiabilă a camerei
- Minimizarea costului total de proprietate cu designul cu sursă dublă de ioni, rezistentă la contaminare și cu durată de viață mai lungă; monitorizează până la 20 mTorr fără a fi nevoie de pompe. Varianta EM de joasă presiune oferă o alternativă sensibilă la costuri
- Integrare perfectă în fabrică și interdicție fiabilă prin achiziție și sincronizare puternică a datelor
- Îmbunătățirea capacităților unice de fabricație cu optimizare personalizată a rețetelor
- Protejează nevoile critice ale procesului cu răspuns imediat la fața locului din partea experților
Aplicații tipice
- Module de proces PVD și pulverizare
- Module de precurățare
- Unelte PVD fără cluster
- Module de degazare fixate prin cleme
| Stabilitatea poziției masei | < 0.1 amu în 24 ore |
| Sensibilitate (mod FC) |
≥ 4E-7 A/Torr (3E-7 A/mbar) |
| Sensibilitate (nominală) |
≥ 8E-3 A/Torr (3E-3 A/mbar) |
| Presiune parțială minimă detectabilă (mod FC) |
≤ 1E-9 Torr (1.3E-9 mbar) |
| Presiune parțială minimă detectabilă (mod EM) |
≤ 6E-12 Torr (8E-12 mbar) |
| Presiune maximă de operare (mod FC sau EM) |
20 mTorr (2.6E-2 mbar) |
| Presiune maximă de operare (operare liniară) |
10 mTorr (1.3E-2 mbar) |
Afișaj
INFICON acceptă tehnologie de vârf și permite produse de afișare de cea mai înaltă calitate.
IDM și turnătorie de semiconductori
Senzori adaptați pentru a susține o gamă largă de aplicații, asigurând siguranța produsului, randament crescut și productivitate maximă.
Acoperire în vid
Piețele de acoperire în vid depășesc cu mult limitele opticii și se extind rapid în arene, industrii și straturi de peliculă care erau aproape de neimaginat acum doar zece ani.
Instrumentație analitică
Oferă suport utilizatorilor dintr-o gamă largă de aplicații și piețe cu instrumentele lor extrem de sofisticate.
Farmaceutice și medicale
Creșterea productivității și contribuția la îndeplinirea standardelor de conformitate și a cerințelor de calitate în industria farmaceutică.
Baterie
De la producția de electrozi până la testarea la capătul liniei
Energie
Producția de petrol și gaze a înregistrat o creștere a cererii în ultimele decenii și este propulsată de creșterea populației, urbanizare și clasa de mijloc a consumatorilor din țările în curs de dezvoltare.
Producție industrială
Vidumul este folosit mai des pentru a garanta un mediu curat și este necesar pentru mai multe procese, însă fără vid nu funcționează.
Mobilitate și industria auto
Testarea fiabilă a scurgerilor într-o industrie în continuă evoluție. Schimbările din industria auto fac testarea scurgerilor și mai importantă.
Cercetare și mediul academic
Dezvăluim cele mai intime mistere ale universului prin cercetare fundamentală. Oferim inovația de astăzi care dă putere tehnologiilor viitorului tău.