Transpector® CPX
Expertul compact în procese pentru monitorizarea avansată a proceselor.
Performanță îmbunătățită, fiabilitate dovedită și versatilitate în aplicații
INFICON Transpector CPX este un analizor de gaze reziduale (RGA) lider pe piață pentru monitorizarea avansată a proceselor în fabricarea semiconductorilor. INFICON înțelege că procesele de fabricație a semiconductorilor au nevoi specifice care necesită flexibilitate pentru a satisface cerințele aplicației. Transpector CPX este conceput având în vedere această versatilitate, cu intrarea HexBlock multi-presiune și o varietate de opțiuni de caracteristici pentru a satisface nevoile aplicației.
Următoarea generație de Transpector CPX se mândrește cu o scădere a volumului de 30% față de generațiile anterioare*, menținând în același timp sistemele de pompare de top din industrie. În plus, Transpector CPX este un sistem mai inteligent, cu un control mai capabil.
*Comparativ cu Transpector CPM 3
Avantaje
- HexBlock configurabil cu până la trei intrări de presiune pentru aplicații versatile
- Reducere cu 30% a volumului sistemului de la Transpector CPM 3 pentru o integrare RGA mai ușoară în aplicații cu spațiu limitat
- Complexitate redusă a sistemului cu un sistem de pompare de top în industrie și cartușe de încălzire cu temperatură controlată
- Calibrarea automată asigură fiabilitatea și precizia datelor pe termen lung pentru potrivirea senzor-senzor și a camerei sculei-sculei
- Transpector CPX devine un instrument puternic de monitorizare și diagnosticare a proceselor atunci când este integrat cu software-ul FabGuard și este susținut de experții în aplicații de talie mondială INFICON
| 100 AMU | |
|---|---|
| Specificații Tehnice | Detalii / Valori |
| Limită de Detecție | < 200 ppb |
| Interval Presiune de Proces | 1E-8 Torr până la 1.2 ATM |
| Sensibilitate (Emisie Joasă) | > 4E-6 A/Torr |
| Sensibilitate (Emisie Ridicată) | > 2E-5 A/Torr |
| 200 AMU | |
|---|---|
| Specificații Tehnice | Detalii / Valori |
| Limită de Detecție | < 500 ppb |
| Interval Presiune de Proces | 1E-8 Torr până la 1.2 ATM |
| Sensibilitate (Emisie Joasă) | > 4E-6 A/Torr |
| Sensibilitate (Emisie Ridicată) | > 2E-5 A/Torr |
| 300 AMU | |
|---|---|
| Specificații Tehnice | Detalii / Valori |
| Limită de Detecție | < 1 ppm |
| Interval Presiune de Proces | 1E-8 Torr până la 1.2 ATM |
| Sensibilitate (Emisie Joasă) | > 4E-6 A/Torr |
| Sensibilitate (Emisie Ridicată) | > 2E-5 A/Torr |
Afișaj
INFICON acceptă tehnologie de vârf și permite produse de afișare de cea mai înaltă calitate.
IDM și turnătorie de semiconductori
Senzori adaptați pentru a susține o gamă largă de aplicații, asigurând siguranța produsului, randament crescut și productivitate maximă.
Acoperire în vid
Piețele de acoperire în vid depășesc cu mult limitele opticii și se extind rapid în arene, industrii și straturi de peliculă care erau aproape de neimaginat acum doar zece ani.
Instrumentație analitică
Oferă suport utilizatorilor dintr-o gamă largă de aplicații și piețe cu instrumentele lor extrem de sofisticate.
Farmaceutice și medicale
Creșterea productivității și contribuția la îndeplinirea standardelor de conformitate și a cerințelor de calitate în industria farmaceutică.
Baterie
De la producția de electrozi până la testarea la capătul liniei
Energie
Producția de petrol și gaze a înregistrat o creștere a cererii în ultimele decenii și este propulsată de creșterea populației, urbanizare și clasa de mijloc a consumatorilor din țările în curs de dezvoltare.
Producție industrială
Vidumul este folosit mai des pentru a garanta un mediu curat și este necesar pentru mai multe procese, însă fără vid nu funcționează.
Mobilitate și industria auto
Testarea fiabilă a scurgerilor într-o industrie în continuă evoluție. Schimbările din industria auto fac testarea scurgerilor și mai importantă.
Cercetare și mediul academic
Dezvăluim cele mai intime mistere ale universului prin cercetare fundamentală. Oferim inovația de astăzi care dă putere tehnologiilor viitorului tău.