Tehnologia noastră de detectare RF de ultimă generație oferă soluții neinvazive pentru monitorizarea plasmei în timp real, gravarea napolitanelor și controlul proceselor în medii industriale. Cu detectarea precisă a arcului și controlul punctelor finale, senzorii noștri sporesc eficiența, protejează împotriva evenimentelor de arc și reduc costurile operaționale. Concepuți pentru colectarea de date de mare viteză, aceștia asigură performanțe optimizate în procesele de fabricație a semiconductorilor.
Produsele noastre:
Precizia monitorizării plasmei cu tehnologia RF de la INFICON
Obținerea unui control precis al procesului în fabricarea semiconductorilor necesită instrumentele potrivite. Tehnologia de detectare RF de la INFICON, inclusiv Sion™ și ADC100, oferă soluții puternice pentru monitorizarea plasmei în timp real și gravarea waferelor. Sion™ oferă feedback continuu, asigurând o detectare precisă a punctelor finale pentru a evita gravarea excesivă și risipa de material. În mod similar, ADC100 oferă o detectare și o protecție superioară a arcului, protejând echipamentul dumneavoastră, menținând în același timp eficiența producției.
Indiferent dacă gestionează condiții delicate de plasmă sau asigură o calitate constantă a gravării, tehnologia senzorilor RF de la INFICON minimizează timpul de nefuncționare și maximizează eficiența. Datorită designului lor robust, atât Sion™, cât și ADC100 rezistă la medii dure, oferind în același timp performanțe maxime, ceea ce le face instrumente esențiale pentru producția cu mize mari.
Integrarea soluțiilor de detectare RF de la INFICON în procesul dumneavoastră îmbunătățește fiabilitatea fluxului de lucru, eficientizează operațiunile și minimizează timpul de nefuncționare. Cu aceste instrumente avansate, puteți obține rezultate de fabricație mai rapide și mai precise, sporindu-vă avantajul competitiv.