Zevision® IMC300
Control de precizie pentru repetabilitate maximă și eficiență cristalină de neegalat
INFICON IMC300 face parte din următoarea generație de controlere de depunere Zevision, care oferă o tehnologie brevetată nouă, necesară pentru aparatele de acoperire optică de astăzi.
Sistem de măsurare ModeLock
INFICON Zevision IMC300 utilizează sistemul de măsurare INFICON ModeLock™ pentru a maximiza reproductibilitatea și uniformitatea cu cea mai mare precizie a grosimii, cea mai bună rezoluție a măsurării și cel mai mic zgomot de frecvență. Sistemul de măsurare ModeLock va maximiza timpul de funcționare și randamentul prin extinderea duratei de viață utilizabile a cristalului – în unele cazuri, de peste două ori durata de viață așteptată a unui controler de numărare a frecvenței.
Integrare ușoară a sistemului
Integrarea sistemului cu INFICON Zevision IMC300 este rapidă și ușoară, cu compatibilitate inversă, logică și capacitatea opțională de a rula mai multe surse în același timp folosind un singur controler. INFICON Zevision IMC300 dispune de un panou frontal cu ecran tactil, meniuri ușor de navigat și creare intuitivă de rețete. Software-ul de scriere este mult simplificat prin utilizarea exclusivă a caracterelor ASCII imprimabile, cu caractere clare de început și sfârșit în toate comenzile și răspunsurile. Noul protocol de comunicație serială are și comenzi de ajutor pentru a afla ce comenzi sunt disponibile fără a consulta manualul de operare.
Actualizări și plan de întreținere ulterioară
Toate actualizările de firmware și upgrade-urile hardware pot fi acum efectuate la fața locului cu plăci opționale ușor de instalat și actualizări de firmware prin portul USB de pe panoul frontal. Plăcile de intrare/ieșire opționale și plăcile de măsurare cu 2 senzori și 2 surse sunt disponibile pentru instalare pe teren, fără unelte suplimentare.
Deși INFICON Zevision IMC300 este construit să reziste zeci de ani, puteți fi siguri că reparațiile sunt gratuite în perioada planului opțional de întreținere ulterioară. Sunt disponibile planuri opționale de întreținere ulterioară de 2 sau 4 ani, care pot fi extinse dincolo de garanția standard de 2 ani, în cazul în care INFICON Zevision IMC300 necesită reparații. Dacă IMC300 are un plan de întreținere ulterioară, se poate oferi o unitate de împrumut dacă este nevoie de service pe tot parcursul duratei de viață a instrumentului.
Avantaje
- Maximizați reproductibilitatea și uniformitatea cu cea mai mare precizie a grosimii, cea mai bună rezoluție a măsurătorilor și cel mai mic zgomot de rată utilizând sistemul de măsurare ModeLock
- Maximizați numărul de rulări posibile, reducând în același timp costul consumabilelor cristalului cu ModeLock (cea mai lungă durată de viață utilizabilă a cristalului)
- Minimizați costul integrării și maximizați viteza de integrare cu compatibilitate inversă, logică și capacitatea opțională de a rula mai multe surse în timpul unui singur proces simultan cu un singur controler
- Minimizați riscul de dezvoltare și optimizați performanța sistemului prin asistență pentru aplicații de specialitate la nivel mondial
Configuratorul de numere de piesă Zevision
| Interval frecvență cristal | 6,0 până la 4,5 MHz |
| Rezoluție frecvență | $\pm 0,00656 \text{ Hz @ } 6 \text{ MHz}$ |
| Precizie frecvență | $\pm 2,5 \text{ ppm}$ ($0$ la $50^\circ\text{C}$) |
| Rată de măsurare | 10 Hz |
| Rezoluție grosime și rată | $\pm 0,008 \text{ Å}$ și $\pm 0,08 \text{ Å/s}$ |
| Precizie grosime | 0,5% |
| Precizie rată | 0,1% |
Acoperire în vid
Piețele de acoperire în vid depășesc cu mult limitele opticii și se extind rapid în arene, industrii și straturi de peliculă care erau aproape de neimaginat acum doar zece ani.