UL6000 Fab Series
Detectoare de scurgeri UL6000 Fab/UL6000 Fab PLUS
Tehnologia senzorilor ULTRATEST™
Stabilește noi standarde pentru viteză și precizie în testarea scurgerilor.
Seria de detectoare de scurgeri de heliu pentru aplicații semiconductoare
Seria de produse INFICON UL6000 Fab este concepută pentru a satisface cele mai critice și solicitante aplicații de detectare a scurgerilor. Având algoritmi software proprietari INFICON I·CAL și HYDRO·S într-un design de vid dovedit pe teren, UL6000 oferă flexibilitate de testare, sensibilitate ridicată și rezultate rapide și precise, ceea ce face ca orice aplicație de detectare a scurgerilor să fie rapidă și ușoară.
UL6000 oferă timpi de răspuns cei mai rapizi în toate intervalele de măsurare și timpi de ciclu extrem de scurți în atingerea condițiilor de testare și a rezultatelor finale. Arhitectura de vid special concepută oferă viteze mari de pompare continuă a heliului și timpii de răspuns extrem de rapizi pe care îi solicitați.
Testare eficientă a scurgerilor
Detectarea scurgerilor este atât consumatoare de timp, cât și complexă. Prin măsurarea ratei de creștere, echipamentele semiconductoare și de vid sunt monitorizate continuu în timpul funcționării. La indicarea unei scurgeri prin acest test integral de scurgeri, pozițiile scurgerilor sunt apoi localizate folosind metoda de pulverizare cu heliu, permițând reparația necesară. Acesta este urmat de un alt test de scurgeri folosind creșterea presiunii sau așa-numita măsurare a descreșterii vidului – un proces complex care trebuie repetat până când sunt detectate toate scurgerile. Mai mult, pentru a fi cât mai precis posibil, timpii de măsurare pentru această procedură sunt adesea deosebit de lungi pentru volume mari de echipamente. Datorită I·RISE, funcția noastră inteligentă de creștere a vitezei, UL6000 Fab PLUS efectuează singur măsurarea creșterii presiunii și o combină cu metoda de pulverizare cu heliu. Sistemul nostru patentat permite reducerea drastică a timpilor de măsurare și, astfel, ajută la minimizarea atât a timpului general pentru testarea scurgerilor, cât și a întreținerii echipamentelor din fabrică. Experimentați rezultate ale măsurătorilor și mai rapide și mai precise – în mai puțin de 10 secunde, independent de volumul camerei.
Testare optimizată a scurgerilor cu SMART-Spray, I·BOOST și SPRAY-Check
Pistolul de pulverizare cu heliu SMART-Spray îmbunătățește verificarea scurgerilor prin eliminarea necesității unor butelii mari de heliu și a furtunurilor greoaie. Acesta simplifică procesul, reducând ajustările manuale ale debitului de heliu și minimizând erorile. Acest instrument face detectarea scurgerilor mai rapidă, mai ușoară și mai fiabilă, menținând în același timp un consum redus de heliu și niveluri de fond reduse. Ideal pentru testarea eficientă și precisă a scurgerilor.
I·BOOST oferă economii de timp de până la 50% în detectarea scurgerilor. Cu timpi de răspuns mai scurți, oferă măsurători rapide și precise în diferite volume ale camerei, sporind eficiența și acuratețea. În plus, SPRAY-Check, un test de scurgere prin pulverizare, asigură funcționalitatea și disponibilitatea detectorului dumneavoastră de scurgeri. Ideal pentru intervalul 10⁻⁹ până la 10⁻⁸ mbar∙l/s, oferă verificări fiabile în timpul proceselor de testare.
Avantaje - Seria de produse Fab
- Tehnologie cu senzori ULTRATEST
- HYDRO-S (suprimarea HIDROGENULUI) pentru a permite atingerea rapidă a condițiilor de testare.
- I-CAL (Algoritm inteligent de calcul pentru ratele de scurgere) pentru a asigura un răspuns rapid la scurgeri în toate intervalele de măsurare.
- O pompă turbomoleculară specială cu intrări multiple care oferă viteze optimizate de pompare a heliului cu compresie ridicată a heliului la toate presiunile pentru a oferi o sensibilitate, un răspuns și o curățare rapidă excelente.
- O pompă turbomoleculară de rapel pentru un răspuns extrem de rapid pe orice obiect de testat, inclusiv cele mai mari volume și camere.
- Spectrometrul de masă cu sector magnetic INFICON, dovedit pe teren, oferă ani de zile rezultate precise și repetabile, într-un design fără probleme și fără întreținere.
- Funcții de autoprotecție pentru a proteja UL6000 de contaminarea cu heliu și particule și chiar un ciclu de auto-purjare pentru a asigura că UL6000 este gata atunci când aveți nevoie de el.
- O interfață de afișare/control rotativă și telecomandă opțională pentru flexibilitate operațională.
- Controlul accesului la unitate și la software-ul sistemului poate fi activat prin intermediul software-ului pentru a preveni utilizarea neautorizată sau modificările neintenționate ale configurațiilor de testare.
- Actualizări de software prin e-mail pentru a menține UL6000 la performanțe optime.
- Design al stației de lucru cu o suprafață de lucru la înălțime optimă, care include un covoraș ESD și o cutie de scule pentru confortul testării.
Avantaje - Seria de produse Fab PLUS
- Cu I·RISE, sistemul nostru inteligent de măsurare a vitezei de creștere: Oferă testare a creșterii presiunii în dispozitiv, combinată cu metoda de pulverizare cu heliu
- Măsurători ale vitezei de creștere în mai puțin de 10 secunde
- Ajută la minimizarea timpului general pentru testarea scurgerilor și întreținerea echipamentelor din fabrică
- Mai multă viteză, mai multă precizie
Aplicații tipice
- Testarea etanșeității componentelor, subansamblurilor și camerelor mari utilizate la instrumentele de afișare cu semiconductori și ecrane plate
- Testarea etanșeității instrumentelor de afișare cu semiconductori și ecrane plate
- Testarea etanșeității componentelor, subansamblurilor și sistemelor aerospațiale
- Testarea etanșeității vaselor/rezervoarelor de stocare
| UL 6000 Fab | |
|---|---|
| Rata minimă de scurgere detectabilă Heliu (metoda vidului) | < 5 ∙ 10-12 mbar∙L/s |
| Rata minimă de scurgere detectabilă Heliu (mod sniffer) | < 5 ∙ 10-8 mbar∙L/s |
| Presiunea maximă de intrare (mod MASSIVE) | atm (~1013 mbar) |
| Tip pompă de pre-vid | Roots |
| Viteza maximă de pompare a pompei de pre-vid | > 36 m³/h |
| Viteza de pompare la intrare (100-1000 mbar) | 23 m³/h |
| Viteza de pompare la intrare (10-100 mbar și 1-10 mbar) | 26 m³/h |
| Viteza maximă de pompare Heliu (Mod ULTRA) | > 36 L/s |
| Viteza maximă de pompare Heliu DN63 redus la DN40 | ~ 30 L/s |
| Timp de răspuns pentru 50 L | 1.4 s |
| Timp de evacuare până la 1 mbar pentru 50 L | 52 s |
| Timp de evacuare până la 1 mbar pentru 100 L* | 104 s |
| Timp de evacuare până la 1 mbar pentru 500 L* | 527 s |
| Timp de evacuare până la 1 mbar pentru 1000 L* | 1054 s |
| Ventilare 50 L la presiune atmosferică | 16 s |
| Timp de pornire (până la operare) | < 2 min |
| Timp pentru calibrare | < 30 s |
| Flanșă de intrare | DN63 ISO-K |
| Mase detectabile (Tehnologie senzor ULTRATEST) | 2, 3, 4 (H2, 3He, He) |
| Tensiune de alimentare | 100 - 230 V, 50/60 Hz |
| Consum maxim de putere | 1500 VA |
| Consum tipic de putere | 700 VA |
| Greutate | 143 kg |
| Dimensiuni (L x l x Î) | 1050 x 427 x 1040 mm (42 x 21 x 41 in) |
| * extrapolat | |
| UL 6000 Fab PLUS | |
|---|---|
| Rata minimă de scurgere detectabilă Heliu (metoda vidului) | < 5 ∙ 10-12 mbar∙L/s |
| Rata minimă de scurgere detectabilă Heliu (mod sniffer) | < 5 ∙ 10-8 mbar∙L/s |
| Presiunea maximă de intrare (mod MASSIVE) | atm (~1013 mbar) |
| Tip pompă de pre-vid | Roots |
| Viteza maximă de pompare a pompei de pre-vid | > 36 m³/h |
| Viteza de pompare la intrare (100-1000 mbar) | 23 m³/h |
| Viteza de pompare la intrare (10-100 mbar și 1-10 mbar) | 26 m³/h |
| Viteza maximă de pompare Heliu (Mod ULTRA) | > 36 L/s |
| Viteza maximă de pompare Heliu DN63 redus la DN40 | ~ 30 L/s |
| Timp de răspuns pentru 50 L | 1.4 s |
| Timp de evacuare până la 1 mbar pentru 50 L | 52 s |
| Timp de evacuare până la 1 mbar pentru 100 L* | 104 s |
| Timp de evacuare până la 1 mbar pentru 500 L* | 527 s |
| Timp de evacuare până la 1 mbar pentru 1000 L* | 1054 s |
| Ventilare 50 L la presiune atmosferică | 16 s |
| Timp de pornire (până la operare) | < 2 min |
| Timp pentru calibrare | < 30 s |
| Timp pentru măsurarea ratei de creștere (I·RISE) | < 10 s |
| Flanșă de intrare | DN63 ISO-K |
| Mase detectabile (Tehnologie senzor ULTRATEST) | 2, 3, 4 (H2, 3He, He) |
| Tensiune de alimentare | 100 - 230 V, 50/60 Hz |
| Consum maxim de putere | 1500 VA |
| Consum tipic de putere | 700 VA |
| Greutate | 143 kg |
| Dimensiuni (L x l x Î) | 1050 x 427 x 1040 mm (42 x 21 x 41 in) |
| * extrapolat | |
| Spftware | Descarcare |
|---|---|
| Software for UL3000/UL6000 Series - Basic Unit - V1.44 | Descarcă ZIP |
| Software UL3000/UL6000 Series - Operating Unit - V1.66 | Descarcă ZIP |
| Alte documente | Descarcare |
|---|---|
| BM1000 DeviceNet Certificate | Descarcă PDF |
| BM1000 EtherNet/IP Certificate | Descarcă PDF |
| BM1000 PROFINET IO Certificate | Descarcă PDF |
Baterie
De la producția de electrozi până la testarea la capătul liniei
Energie
Producția de petrol și gaze a înregistrat o creștere a cererii în ultimele decenii și este propulsată de creșterea populației, urbanizare și clasa de mijloc a consumatorilor din țările în curs de dezvoltare.
HVAC/R
Tehnologia de refrigerare și climatizare este, fără îndoială, unul dintre subiectele importante ale secolului XXI. Eficiența utilizării, eficiența energetică și, nu în ultimul rând, temperaturile optime
Mobilitate și industria auto
Testarea fiabilă a scurgerilor într-o industrie în continuă evoluție. Schimbările din industria auto fac testarea scurgerilor și mai importantă.
IDM și turnătorie de semiconductori
Senzori adaptați pentru a susține o gamă largă de aplicații, asigurând siguranța produsului, randament crescut și productivitate maximă
Producător de scule semiconductoare
Industria semiconductorilor cuprinde proiectarea, fabricarea, asamblarea și testarea circuitelor integrate pentru utilizare în procesarea datelor, comunicații, electronică de larg consum, industria auto
Acoperire în vid
Piețele de acoperire în vid depășesc cu mult limitele opticii și se extind rapid în arene, industrii și straturi de peliculă care erau aproape de neimaginat acum doar zece ani.