SQM-160
Măsurarea ratei și grosimii în procesele de depunere a peliculelor subțiri
SQM-160 utilizează tehnologia dovedită de senzori cu cristale de cuarț INFICON pentru a măsura rata și grosimea în procesele de depunere a peliculelor subțiri. Două intrări pentru senzori sunt standard, iar patru intrări suplimentare pentru senzori sunt opționale. Două ieșiri de înregistrare oferă semnale analogice de rată și grosime.
Intrările senzorilor pot fi atribuite diferitelor materiale, pot fi mediate pentru un control precis al depunerii în sisteme mari sau configurate pentru un senzor dual. Modul de eșantionare a ratei permite unui senzor cu obturator să prelungească durata de viață a senzorului în procesele cu rată mare. Afișajele de rată de 0,1 Å/s sau 0,01 Å/s pot fi selectabile de către utilizator.
În plus, pot fi selectate afișaje de frecvență sau masă. Patru ieșiri de releu permit SQM-160 să controleze obturatoarele sursei sau ale senzorilor, punctele de referință pentru timpul și grosimea semnalului și defecțiunea cristalului de semnal. Intrările digitale permit pornirea/oprirea semnalelor externe și aducerea la zero a citirilor.
Caracteristici
- Două canale de măsurare standard, încă patru opționale
- Ieșiri analogice pentru înregistrarea ratei/grosimii
- Opțiune de înaltă rezoluție: 0,03 Hz la 10 citiri/sec
- RS-232 standard, USB sau Ethernet opțional
| SQM-160 (Rezoluție Standard) | |
|---|---|
| Intrări senzori QCM | Standard: 2; Opțional: 4 |
| Interval frecvență de măsurare | Reglabil: minim 1,0 MHz, maxim 6,5 MHz |
| Rezoluție grosime și rată/măsurare (1) | $\pm 0,37 \text{ Å}$ |
| Pelicule stocate (Stored Films) | 99 |
| Intrări/Ieșiri digitale | Patru intrări, patru ieșiri pe releu |
| (1) Factor corecție/densitate = 100/1, frecvență fundamentală = 6 MHz, interval de măsurare 0,10 s | |
| SQM-160 (Rezoluție Ridicată) | |
|---|---|
| Intrări senzori QCM | Standard: 2; Opțional: 4 |
| Interval frecvență de măsurare | Reglabil: minim 1,0 MHz, maxim 6,5 MHz |
| Rezoluție grosime și rată/măsurare (1) | $\pm 0,037 \text{ Å}$ |
| Pelicule stocate | 99 |
| Intrări/Ieșiri digitale | Patru intrări, patru ieșiri pe releu |
| (1) Factor corecție/densitate = 100/1, frecvență fundamentală = 6 MHz, interval de măsurare 0,10 s | |
Acoperire în vid
Piețele de acoperire în vid depășesc cu mult limitele opticii și se extind rapid în arene, industrii și straturi de peliculă care erau aproape de neimaginat acum doar zece ani.