RSH-800 Rotary Sensor
Monitorizarea continuă a depunerii care maximizează timpul de funcționare pentru cele mai solicitante aplicații.
Procesele PVD extinse necesită echipamente care pot rămâne stabile, precise și fiabile în fiecare minut de funcționare. Controlul instabil al ratei poate afecta randamentul, uniformitatea și timpul valoros de producție.
Capul senzorului rotativ INFICON RSH‑800 este conceput pentru cicluri lungi de depunere care trebuie finalizate fără întrerupere. Construit pentru monitorizare continuă în medii dificile, acesta ajută procesele solicitante să se desfășoare de la început până la sfârșit cu stabilitate și consecvență.
Proiectat pentru procese solicitante
Ciclurile PVD extinse pot împinge echipamentele la limită. Căldura, acoperirile groase, acoperirile multistrat de precizie și timpii de ciclu lungi necesită o monitorizare fiabilă care nu se clatină sub presiune.
RSH‑800 este proiectat cu tehnologie avansată cu șase cristale pentru a funcționa constant în condiții solicitante. Carcasa sa răcită cu apă și ecranată termic menține stabilitatea până la 300 de grade Celsius, ajutând la asigurarea faptului că măsurătorile rămân precise pe tot parcursul întregii cicluri de depunere.
Menține o monitorizare stabilă
Măsurarea fiabilă a grosimii este esențială pentru pelicule uniforme și performanțe previzibile. Cu o tehnologie concepută pentru a menține rata de depunere stabilă pe parcursul unor cicluri lungi de acoperire, RSH-800 oferă un semnal constant și neîntrerupt chiar și în aplicații în care temperatura se schimbă, iar grosimea depunerii crește continuu.
O carcasă ecranată termic ajută la eliminarea șocului termic, contribuind la menținerea preciziei pe parcursul întregului proces.
Construit pentru întreținere rapidă și timp de funcționare ridicat
RSH-800 ajută la menținerea operațiunilor în mișcare datorită unui design care permite o întreținere rapidă, la fața locului. Înlocuirea cristalului este simplă, ajutată de o ambalare care simplifică manipularea în timpul instalării.
Indexarea pneumatică oferă o avansare lină a cristalului, în timp ce opțiunile de feedback integrate facilitează urmărirea poziției cristalului de către sisteme.
Avantaje dintr-o privire
- Randament și precizie îmbunătățite ale peliculei, susținute de inginerie de înaltă calitate
- Eficiență sporită a producției prin timp de funcționare extins
- Randament îmbunătățit cu schimb rapid de cristale
- Optimizare mai bună a peliculei cu feedback de poziție
- Economie de timp prin manipulare și instalare ușoară la fața locului
- Acces la expertiză mondială în aplicații pentru optimizarea proceselor
Configurații flexibile pentru integrarea camerei
Fiecare sistem de vid are propria geometrie și propriile constrângeri. RSH-800 se adaptează ușor prin multiple opțiuni de montare, inclusiv configurații cu cap plat pentru instalații cu montare superioară, utilizând o trecere cu inel O sau o flanșă CF63. Sunt disponibile accesorii cu flanșă reglabilă pentru a seta senzorul exact acolo unde este nevoie, în interiorul camerei.
| Număr de cristale | Șase |
| Dimensiune cristal | Diametru de 14 mm (0,550 in.) |
| Apertură de instalare | Diametru de 50,8 mm (2,0 in.) |
| Cerințe de alimentare |
Electrovandă 24 V (dc): 21,6–26,4 V (dc), 40 mA Electrovandă 115 V (ac): 90–132 V (ac), 36/32 mA rms (50/60 Hz) |
| Metodă de schimbare a cristalului | Acționat pneumatic la 55 psi (4 kg/cm2) reglat |
| Metodă de răcire | Răcire cu apă la 5 L/min la 2 kg/cm2 (28 psi) (A nu se permite înghețarea) |
| Conexiuni aer și apă | O conexiune rapidă (quick connect) de 6 mm (0,25 in.) pentru aer, două fitinguri de compresie de 1/8 in. pentru apă |
| Temp. max. de coacere (bakeout) fără apă | 130°C |
| Temperatură de operare | Max. 300°C cu răcire prin apă și capac de cap din oțel inoxidabil |
| Greutate | 3,8 kg (8,5 lb.), variază în funcție de lungimea totală |
| Materiale | Oțel inoxidabil 304, PEEK, nichel-beriliu |
Acoperire în vid
Piețele de acoperire în vid depășesc cu mult limitele opticii și se extind rapid în arene, industrii și straturi de peliculă care erau aproape de neimaginat acum doar zece ani.
Baterie
De la producția de electrozi până la testarea la capătul liniei
Afișaj
INFICON acceptă tehnologie de vârf și permite produse de afișare de cea mai înaltă calitate
Energie
Producția de petrol și gaze a înregistrat o creștere a cererii în ultimele decenii și este propulsată de creșterea populației, urbanizare și clasa de mijloc a consumatorilor din țările în curs de dezvoltare.