Quantus® LP100+
Analiza gazelor în timp real și detectarea punctelor finale
Monitorizarea proceselor în timpul fabricării semiconductorilor a devenit din ce în ce mai critică, pe măsură ce progresele tehnologice împing procesele la limite. Chiar și urme de contaminare pot avea un impact semnificativ asupra rezultatelor, ceea ce face ca detectarea scurgerilor și a punctelor finale în timp real să fie esențială în mediile de proces critice. Analizorul de gaze INFICON Quantus® LP100+ este conceput pentru a identifica și a reacționa instantaneu la mici schimbări, reducând la minimum resturile de napolitane și îmbunătățind randamentele.
Bazat pe tehnologia de spectroscopie cu emisie optică prin auto-plasmă (SPOES), Quantus LP100+ oferă o limită de detecție excepțională până la intervalul scăzut de ppm și este flexibil în ceea ce privește locațiile de instalare, fie pe cameră, fie pe linia de pompă.
Proiectat cu un design unic al senzorului, Quantus LP100+ oferă avantaje de neegalat în comparație cu produsele tradiționale OES. Senzorul generează o plasmă localizată în celula sa de plasmă, extinzând capacitățile analizoarelor de gaze bazate pe OES dincolo de instalațiile cu camere de plasmă, la camere fără plasmă și alte locații ale instrumentelor, cum ar fi linia de evacuare sau linia de evacuare. Cu un interval de funcționare de la 10 mTorr la 1 Torr, fără a necesita sisteme de pompare costisitoare, Quantus LP100+ este compatibil cu multe procese, necesitând în același timp o întreținere minimă și oferind un cost de proprietate redus.
Quantus LP100+ se conectează ușor la sistem folosind un port KF25 standard. Amprenta sa redusă asigură că nu interferează cu operațiunile zilnice care au loc în și în jurul unui instrument de proces.
Caracteristici
- Interval de funcționare de la 10 mTorr la 1 Torr
- Limite de detecție excelente până la niveluri scăzute de ppm
- Instalare ușoară folosind o conexiune standard KF25
- Rată de eșantionare rapidă de 10 Hz
- Întreținere redusă, fiabilitate pe termen lung
- Cost redus de proprietate, nu sunt necesare pompe sau consumabile
- Celulă de plasmă convenabilă, înlocuibilă pe teren
- Amprentă redusă: (Î x l x L) 87 x 150 x 241 mm (3,4 x 5,9 x 9,5 in.)
- Asistență din partea inginerilor INFICON cu experiență, instruiți pe teren
| Presiune de operare | 10 mTorr până la 1 Torr (în funcție de aplicație) |
| Performanță spectrometru | Lungimi de undă 200–850 nm (UV-VIS), rezoluție 16-bit full-scale, 3648 pixeli |
| Limită de detecție | Până la niveluri ppm scăzute (în funcție de aplicație) |
| Timp de expunere | Minimum 1 ms |
| Conexiune vacuum (fitting) | KF25 |
Afișaj
INFICON acceptă tehnologie de vârf și permite produse de afișare de cea mai înaltă calitate.
Instrumentație analitică
Oferă suport utilizatorilor dintr-o gamă largă de aplicații și piețe cu instrumentele lor extrem de sofisticate.
Farmaceutice și medicale
Creșterea productivității și contribuția la îndeplinirea standardelor de conformitate și a cerințelor de calitate în industria farmaceutică.
Producție industrială
Vidumul este folosit mai des pentru a garanta un mediu curat și este necesar pentru mai multe procese, însă fără vid nu funcționează.
IDM și turnătorie de semiconductori
Senzori adaptați pentru a susține o gamă largă de aplicații, asigurând siguranța produsului, randament crescut și productivitate maximă.
Cercetare și mediul academic
Dezvăluim cele mai intime mistere ale universului prin cercetare fundamentală. Oferim inovația de astăzi care dă putere tehnologiilor viitorului tău.
Acoperire în vid
Piețele de acoperire în vid depășesc cu mult limitele opticii și se extind rapid în arene, industrii și straturi de peliculă care erau aproape de neimaginat acum doar zece ani.