Quantus® HP100
Detectarea scurgerilor în timp real, detectarea punctelor finale și monitorizarea proceselor
Analizorul de gaze INFICON Quantus HP100 se bazează pe tehnologia de spectroscopie cu emisie optică cu auto-plasmă (SPOES) și este conceput pentru a oferi detectarea scurgerilor în timp real, detectarea punctelor finale și monitorizarea proceselor în timpul fabricării semiconductorilor. Quantus HP100 are o sensibilitate excelentă, un factor de formă compact și oferă o gamă largă de presiune operațională fără pompe costisitoare, ceea ce îl face potrivit pentru monitorizarea proceselor și protecția în majoritatea instrumentelor semiconductoare.
Caracteristici
- Interval de funcționare de 1 Torr – 450 Torr pentru Argon și 1 Torr – 120 Torr pentru Azot (Variază pentru alte tipuri de gaz)
- Limite de detecție scăzute <1 ppm
- Instalare ușoară folosind o conexiune standard KF25
- Eșantionare rapidă (maxim 20 Hz)
- Amprentă redusă (Î x l x L): 6,4 x 6,0 x 8,3 in. [162 x 153 x 210 mm]
- Întreținere redusă, nu necesită pompe sau consumabile
- Celulă de plasmă convenabilă, înlocuibilă pe teren
- Asistență de specialitate la nivel mondial pentru nevoile dumneavoastră specifice de proces
Aplicații tipice
- Verificarea scurgerilor din cameră, test RoR (viteză de creștere) mai rapid
- Verificarea scurgerilor pentru a găsi scurgeri interne din conductele de alimentare cu gaz
- Controlul punctului final în timp real
- Controlul tipului și concentrațiilor de gaz
| Presiune de operare | 1 Torr – 450 Torr (în funcție de aplicație) |
| Performanță spectrometru | Lungimi de undă 200–850 nm (UV-VIS), rezoluție 16-bit full-scale, 3648 pixeli |
| Limită de detecție | < 1 ppm (în funcție de aplicație) |
| Timp de expunere | Minimum 1 ms |
| Conexiune vacuum (fitting) | KF25 |
Afișaj
INFICON acceptă tehnologie de vârf și permite produse de afișare de cea mai înaltă calitate.
IDM și turnătorie de semiconductori
Senzori adaptați pentru a susține o gamă largă de aplicații, asigurând siguranța produsului, randament crescut și productivitate maximă.
Acoperire în vid
Piețele de acoperire în vid depășesc cu mult limitele opticii și se extind rapid în arene, industrii și straturi de peliculă care erau aproape de neimaginat acum doar zece ani.
Instrumentație analitică
Oferă suport utilizatorilor dintr-o gamă largă de aplicații și piețe cu instrumentele lor extrem de sofisticate.
Farmaceutice și medicale
Creșterea productivității și contribuția la îndeplinirea standardelor de conformitate și a cerințelor de calitate în industria farmaceutică.
Producție industrială
Vidumul este folosit mai des pentru a garanta un mediu curat și este necesar pentru mai multe procese, însă fără vid nu funcționează.
Cercetare și mediul academic
Dezvăluim cele mai intime mistere ale universului prin cercetare fundamentală. Oferim inovația de astăzi care dă putere tehnologiilor viitorului tău.