PPG570
Manometru de vid ATM la mediu + comutator ATM
Noul manometru combinat INFICON Pirani Piezo (PPG570) se bazează pe cea mai avansată tehnologie de senzori MEMS (Sisteme Microelectromecanice) disponibilă, care este utilizată și în manometrul nostru PPG550 „ATM-Mediu”.
Ceea ce diferențiază PPG570 de PPG550 este senzorul ATM suplimentar instalat, care permite utilizarea PPG570 în aplicații clasice de tip „Load-lock”. De exemplu, în industria semiconductorilor sau în orice alte aplicații de vid unde este importantă măsurarea precisă a presiunii în raport cu presiunea atmosferică ambientală.
Tehnologia combinată Pirani/Piezo miniaturizată în procesul MEMS permite construirea unui senzor foarte mic și, prin urmare, care economisește spațiu, ceea ce face posibilă menținerea înălțimii totale a dispozitivului de măsurare foarte mică.
Pe lângă avantajul înălțimii reduse, un Pirani bazat pe tehnologia MEMS oferă și avantajul de a măsura mai adânc și mai precis în domeniul HV decât un Pirani clasic. În combinație cu un senzor piezo MEMS, montat în aceeași flanșă, manometrul Pirani devine un adevărat manometru de vid cu gamă largă, extinzând intervalul de măsurare mult dincolo de valorile obișnuite de 1000 mbar, inclusiv spre atmosferă. În același timp, senzorul piezo MEMS oferă măsurarea presiunii independente de tipul de gaz în intervalul de 2 … 1333 mbar. Un alt avantaj al tehnologiilor menționate este rezistența crescută la forțele de accelerație și vibrații.
Nu în ultimul rând, noul INFICON PPG570 poate fi utilizat pentru a înlocui direct așa-numitul „MicroPirani™ and Piezo Loadlock Vacuum Pressure Transducer” de la MKS Instruments MKS901P. PPG570 oferă aceiași conectori/alocare a pinilor, ieșire analogică și compatibilitate cu protocolul de comunicație digitală RS232/485.
Avantaje
- Independent de tipul de gaz peste 2 mbar – permite ventilarea în siguranță cu orice amestec de gaze
- Precizie și reproductibilitate ridicate la atmosferă – pentru detectarea rapidă și fiabilă a presiunii atmosferice
- Măsurarea presiunii ambientale atmosferice
- Până la 3 relee în stare solidă
- Orientare versatilă a montajului – oferă libertate în proiectarea sculelor
- Semnal de ieșire analogic selectabil pentru integrare ușoară a sistemului
- Interfețe digitale RS232/RS485
- Posibilitate de conectare directă pentru înlocuirea traductorului de presiune în vid MKS901P „MicroPirani™ – și a traductorului piezo cu blocare cu sarcină”.
- Conformitate cu standardele: CE, EN, CSA, RoHS
Aplicații tipice
- Aplicații de blocare a sarcinii în semiconductori
- Utilizare în echipamente analitice/septrometre de masă
- Depunere fizică în fază de vapori
| Specificații Tehnice Senzor Vid (Model High-Precision) | |
|---|---|
| Interval de măsurare (N2) | 1 × 10-6 … 1333 mbar |
| Precizie: 1100 … 1333 mbar | ±0,5% din valoarea citită |
| Precizie: 800 … 1099 mbar | ±0,25% din valoarea citită |
| Precizie: 100 … 800 mbar | ±0,5% din valoarea citită |
| Precizie: 2 … 99,9 mbar | ±1% din valoarea citită |
| Precizie: 1 × 10-4 … 1,99 mbar | ±5% din valoarea citită |
| Precizie: 1 × 10-5 … 9,99 × 10-5 mbar | ±25% din valoarea citită |
| Compensare cu temperatura | +10 … +50 °C |
| Precizie absolută măsurare temperatură | ±1,5 °C (în intervalul 0 … +80 °C) |
| Tensiune de alimentare (la senzor) | +12 … +30 V (dc) |
| Riplu maxim (Ripple) | max. 1 Vpp |
Instrumentație analitică
Oferă suport utilizatorilor dintr-o gamă largă de aplicații și piețe cu instrumentele lor extrem de sofisticate.
Baterie
De la producția de electrozi până la testarea la capătul liniei
Afișaj
INFICON acceptă tehnologie de vârf și permite produse de afișare de cea mai înaltă calitate
Energie
Producția de petrol și gaze a înregistrat o creștere a cererii în ultimele decenii și este propulsată de creșterea populației, urbanizare și clasa de mijloc a consumatorilor din țările în curs de dezvoltare.
Producție industrială
Vidumul este folosit mai des pentru a garanta un mediu curat și este necesar pentru mai multe procese, însă fără vid nu funcționează.
HVAC/R
Tehnologia de refrigerare și climatizare este, fără îndoială, unul dintre subiectele importante ale secolului XXI. Eficiența utilizării, eficiența energetică și, nu în ultimul rând, temperaturile optime
Mobilitate și industria auto
Testarea fiabilă a scurgerilor într-o industrie în continuă evoluție. Schimbările din industria auto fac testarea scurgerilor și mai importantă.
Cercetare și mediul academic
Dezvăluim cele mai intime mistere ale universului prin cercetare fundamentală. Oferim inovația de astăzi care dă putere tehnologiilor viitorului tău.
Farmaceutică și medicală
Creșterea productivității și contribuția la îndeplinirea standardelor de conformitate și a cerințelor de calitate în industria farmaceutică
IDM și turnătorie de semiconductori
Senzori adaptați pentru a susține o gamă largă de aplicații, asigurând siguranța produsului, randament crescut și productivitate maximă
Acoperire în vid
Piețele de acoperire în vid depășesc cu mult limitele opticii și se extind rapid în arene, industrii și straturi de peliculă care erau aproape de neimaginat acum doar zece ani.
Producător de scule semiconductoare
Industria semiconductorilor cuprinde proiectarea, fabricarea, asamblarea și testarea circuitelor integrate pentru utilizare în procesarea datelor, comunicații, electronică de larg consum, industria auto.