IC6
Repetarea excelenței
Controlerul IC6 pentru depunere de peliculă subțire oferă o valoare excepțională, combinând performanța dovedită a controlerelor INFICON pentru peliculă subțire cu caracteristici unice, toate concepute pentru a vă oferi maximum de la procesul de depunere.
IC6 utilizează sistemul nostru de măsurare a frecvenței ModeLock pentru a oferi măsurători stabile, de înaltă rezoluție, ale ratei și grosimii, cu o rezoluție de vârf în industrie de 0,00433 Å/s la fiecare 1/10 de secundă. Niciun alt controler cu cristale de cuarț nu are performanța, calitatea și caracteristicile IC6, permițându-vă să repetăm excelența.
Caracteristici
- Tehnologia INFICON ModeLock asigură cea mai stabilă rată de rezoluție și măsurarea grosimii disponibile, chiar și la rate foarte mici
- Auto Z îmbunătățește precizia grosimii prin determinarea automată a raportului Z pe măsură ce materialul este depus
- Codepunerea simultană a până la șase surse
- Ecranul LCD TFT color facilitează vizualizarea procesului dumneavoastră
- +/-0,0035 Hz pe o eșantionare de 100 ms
- Stocare de date USB pentru capturi de ecran, stocarea rețetelor și înregistrarea datelor
- I/O puternice cu flexibilitate pentru integrare în sisteme simple sau complexe (folosind intrări (28) și ieșiri extensibile (24 de relee, 14 ieșiri TTL) și utilizarea funcțiilor logice (100 de instrucțiuni logice)
- 6 ieșiri DAC standard, 6 suplimentare opționale pentru controlul sursei, monitorizarea ratei sau a grosimii
- Poate găzdui până la 50 de procese de câte 200 de straturi fiecare, iar procesele pot fi legate între ele pentru maximum 10.000 straturi
- Medierea mai multor senzori pentru până la 8 senzori
- Opțiunea XIU de 4 metri oferă posibilitatea de a utiliza cabluri lungi pentru senzori în vid pentru sisteme mari
- Comunicații Ethernet opționale
- Software opțional pentru editorul de configurare IC6 (cod piesă 781-620-G1) – Software Windows® bazat pe LabVIEW® care permite crearea și editarea offline a fișierelor de configurare IC6 și convertește fișierele de configurare IC/5 în format IC6.
- Conform cu RoHS
Aplicații tipice
- Acoperiri optice de înaltă calitate
| PERFORMANȚĂ MĂSURARE | |
| Rezoluție grosime și rată / măsurare (1) | $\pm 0,00433 \text{ Å}$ |
| Interval frecvență de măsurare | 6,0 până la 4,5 MHz (fix) |
| REȚETE PROCES ȘI MANAGEMENT DATE | |
| Programe materiale | 32 |
| Straturi per proces | 200 |
| Procese | 50 (procesele pot fi interconectate) |
| Număr de surse (2) | Până la 6 |
|
(1) Factor corecție/densitate = 100/1, frecvență fundamentală = 6 MHz (2) IC6 dispune standard de 6 ieșiri DAC, iar alte 6 pot fi adăugate opțional. Oricare dintre cele 12 poate fi configurată ca tensiune de control pentru sursă sau ieșire pentru înregistrare, însă numărul de surse ce pot fi controlate simultan este de 6. |
|
Acoperire în vid
Piețele de acoperire în vid depășesc cu mult limitele opticii și se extind rapid în arene, industrii și straturi de peliculă care erau aproape de neimaginat acum doar zece ani.
Baterie
De la producția de electrozi până la testarea la capătul liniei