Cygnus® 2
Cea mai bună precizie de măsurare posibilă pentru aplicațiile OLED
Controlerul de depunere a peliculei subțiri Cygnus 2 oferă o valoare excepțională, combinând performanța dovedită a controlerelor de peliculă subțire INFICON cu caracteristici unice, toate concepute pentru a vă oferi maximum de la procesul OLED.
Cygnus 2 utilizează sistemul nostru de măsurare a frecvenței ModeLock pentru a oferi măsurători stabile, de înaltă rezoluție, ale ratei și grosimii, cu o rezoluție de vârf în industrie de 0,00433 Å/s la fiecare 1/10 de secundă. Niciun alt controler cu cristale de cuarț nu are performanța, calitatea și caracteristicile Cygnus 2, permițându-vă să faceți excelența repetabilă.
Caracteristici
- Tehnologia INFICON ModeLock asigură cea mai stabilă rată de rezoluție și măsurarea grosimii disponibile, chiar și la rate foarte mici
- Auto Z îmbunătățește precizia grosimii prin determinarea automată a raportului Z pe măsură ce materialul este depus
- Până la șase surse pot fi controlate simultan, independent sau în orice combinație de către un singur Cygnus 2, eliminând nevoia de două sau trei controlere
- Ecranul LCD TFT color facilitează vizualizarea procesului dumneavoastră
- Măsurare 10 Hz
- +/-0,0035 Hz pe o eșantionare de 100 ms
- Stocare de date USB pentru capturi de ecran, stocare de rețete și înregistrare de date
- Însumarea grosimii mai multor surse
- Medierea ratei de măsurare pentru materiale cu densitate mică și rată foarte mică (până la 30 de secunde pentru utilizare cu surse stabile pentru depunerea de materiale dopante OLED cu rată foarte mică)
- Rezoluție a ratei de afișare de până la 0,001 Å
- Opțiunea XIU de 4 metri oferă capacitatea de a utiliza cabluri lungi pentru senzori în vid pentru sisteme mari
- Controlul fără depunere permite controlul continuu al sursei, deoarece substraturile sunt trecute prin camera de depunere
- 6 ieșiri DAC standard, 6 suplimentare opționale pentru controlul sursei, monitorizarea ratei sau grosimii
- Comunicații Ethernet opționale
- Conform cu RoHS
| PERFORMANȚĂ MĂSURARE | |
| Rezoluție grosime și rată / măsurare (1) | $\pm 0,00433 \text{ Å}$ |
| Interval frecvență de măsurare | 6,0 până la 4,5 MHz (fix) |
| REȚETE PROCES ȘI MANAGEMENT DATE | |
| Programe materiale | 6 materiale independente |
| Număr de surse (2) | Până la 6 |
|
(1) Factor corecție/densitate = 100/1, frecvență fundamentală = 6 MHz (2) Cygnus 2 dispune standard de 6 ieșiri DAC, iar alte 6 pot fi adăugate opțional. Oricare dintre cele 12 poate fi configurată ca tensiune de control pentru sursă sau ieșire pentru înregistrare, însă numărul de surse ce pot fi controlate simultan este de 6. |
|
Afișaj
INFICON acceptă tehnologie de vârf și permite produse de afișare de cea mai înaltă calitate
IDM și turnătorie de semiconductori
Senzori adaptați pentru a susține o gamă largă de aplicații, asigurând siguranța produsului, randament crescut și productivitate maximă