CrystalSix® Sensor
Senzorul INFICON CrystalSix este esențial pentru procesele lungi care necesită control continuu al ratei. Fie că este vorba de un OLED, MBE, solar, acoperire optică lungă sau alte procese care au o perioadă extinsă între ventilațiile camerei, senzorul CrystalSix oferă siguranța a 6 cristale de monitorizare cu cuarț într-un singur cap de senzor. Atunci când este utilizat cu un controler de peliculă subțire INFICON, CrystalSix rotește automat un cristal nou în poziție ori de câte ori cristalul curent se defectează sau devine instabil. Cristalele sunt înlocuite automat fără a întrerupe procesul pentru monitorizarea continuă a ratei de depunere.
Indexarea cristalelor se realizează cu un mecanism acționat pneumatic. Acest motor acționat pneumatic oferă o stabilitate termică mai bună a cristalului decât unitățile concurente care utilizează motoare electrice scumpe, generatoare de căldură, în vid. Tuburile de răcire cu apă de o optime de inch mențin capul senzorului stabil termic și permit flexibilitate în plasarea senzorului.
Atunci când este utilizat cu anumite controlere de peliculă subțire INFICON, senzorul oferă feedback de poziție, astfel încât poziții specifice pot fi utilizate cu materiale specifice.
Caracteristici
- Suportă 6 cristale cu comutare automată robustă pentru a maximiza timpul de funcționare al procesului
- Temperatură stabilă a cristalului, deoarece comutarea cristalului este acționată pneumatic (unitățile concurente utilizează motoare generatoare de căldură)
- Tuburile de 1/8″ mențin stabilitatea termică și permit flexibilitate în plasarea senzorilor
- Disponibil obturator de cristal opțional
| Temp. max. de coacere (bakeout) fără apă | 130°C |
| Temp. max. de operare în mediu izoterm cu flux minim de apă | 400°C |
| Schimbarea cristalului | Încărcare frontală, necesită instrument de extracție (furnizat împreună cu unitatea) |
| Tuburi de apă și aer | Oțel inoxidabil 304 fără sudură, diametru exterior (O.D.) 0,125 in. (0,32 cm) x grosime perete 0,016 in. (0,04 cm), lungime 30 in. (76 cm) |
Acoperire în vid
Piețele de acoperire în vid depășesc cu mult limitele opticii și se extind rapid în arene, industrii și straturi de peliculă care erau aproape de neimaginat acum doar zece ani.
Baterie
De la producția de electrozi până la testarea la capătul liniei
Afișaj
INFICON acceptă tehnologie de vârf și permite produse de afișare de cea mai înaltă calitate
Energie
Producția de petrol și gaze a înregistrat o creștere a cererii în ultimele decenii și este propulsată de creșterea populației, urbanizare și clasa de mijloc a consumatorilor din țările în curs de dezvoltare.
IDM și turnătorie de semiconductori
Senzori adaptați pentru a susține o gamă largă de aplicații, asigurând siguranța produsului, randament crescut și productivitate maximă