Crystal 12® Sensor
Comutarea automată a cristalelor maximizează timpul de producție
Senzorul INFICON Crystal 12 își înlocuiește automat cristalele fără a întrerupe procesul, atunci când este asociat cu controlerul de depunere a peliculei subțiri INFICON IC6.
Ori de câte ori un cristal devine instabil sau se defectează, IC6 semnalizează caruselului senzorului Crystal 12 să rotească imediat un nou cristal în poziție, pentru monitorizarea continuă a ratei de depunere. Pentru a minimiza și mai mult timpul de nefuncționare, cristalele pot fi preîncărcate într-un al doilea carusel opțional, care poate fi apoi schimbat rapid și ușor cu caruselul care conține cristalele epuizate, reducând la minimum timpul în care sistemul este deschis.
Caracteristici
- Suportă 12 cristale cu comutare automată robustă pentru a maximiza timpul de funcționare al procesului
- Caruselul ușor de îndepărtat permite înlocuirea rapidă a tuturor celor 12 cristale
- Temperatură stabilă a cristalelor, deoarece comutarea cristalelor este acționată pneumatic (unitățile concurente utilizează motoare generatoare de căldură)
- Scutul frontal de depunere ușor de îndepărtat protejează cristalele și caruselul de acumularea de material, reducând la minimum necesitatea de a îndepărta întregul senzor pentru întreținere
- Kitul opțional de montare poate fi modificat de utilizator pentru a se potrivi hardware-ului metric
| Temp. max. de coacere (bakeout) fără apă | 130°C |
| Temp. max. de operare în mediu izoterm cu flux minim de apă | 300°C |
| Dimensiuni (anvelopă maximă) |
Diam. 4,0 in. (102 mm) x 3,3 in. (84 mm) înălțime Diam. 4,75 in. (121 mm) x 3,46 in. (88 mm) cu pilonii de montare opționali instalați |
| Schimbarea cristalului | Încărcare frontală |
Acoperire în vid
Piețele de acoperire în vid depășesc cu mult limitele opticii și se extind rapid în arene, industrii și straturi de peliculă care erau aproape de neimaginat acum doar zece ani.
Baterie
De la producția de electrozi până la testarea la capătul liniei
Afișaj
INFICON acceptă tehnologie de vârf și permite produse de afișare de cea mai înaltă calitate
Energie
Producția de petrol și gaze a înregistrat o creștere a cererii în ultimele decenii și este propulsată de creșterea populației, urbanizare și clasa de mijloc a consumatorilor din țările în curs de dezvoltare.
