ALD Sensor
Precizie optimă, timp de funcționare maxim și întreținere minimă
Senzorii INFICON ALD aduc repetabilitatea, precizia și durabilitatea măsurării cu microbalanță cu cristale de cuarț (QCM) la depunerea straturilor atomice (ALD). Senzorul ALD poate rezista la temperaturi de până la 450ºC și este conceput să funcționeze în mediul dificil al unei aplicații ALD. Electrodul de cristal expus este complet împământat pentru a elimina eficient orice probleme potențiale cu interferențe electrice.
Conceput special pentru ALD
O caracteristică unică a senzorului INFICON ALD este un tub de gaz utilizat pentru a purja partea din spate a cristalului și a cavității senzorului cu un gaz inert, de obicei azot. Acest lucru împiedică gazele reactive din cameră să pătrundă în capul senzorului și menține partea din spate a cristalului și contactele electrice fără material de depunere. Această tehnică permite măsurarea in situ în sisteme în care un QCM standard nu este potrivit.
Conexiune de trecere și conexiune de trecere
Senzorii INFICON ALD sunt disponibili în lungimi sudate personalizate sau cu fitinguri de compresie pentru lungime reglabilă, fără a fi nevoie de lipire sau lipire. Toate configurațiile utilizează o flanșă de trecere ConFlat® de 2 ¾ in. (CF40).
Cristale pentru temperaturi înalte pentru măsurători mai precise
Senzorul INFICON ALD poate obține cea mai bună precizie de măsurare și un zgomot de frecvență mai mic în aplicații la temperaturi înalte atunci când este utilizat cu noile cristale de cuarț pentru temperaturi înalte de la INFICON. Aceste cristale pentru temperaturi înalte sunt optimizate pentru aplicații la 120, 240 și 285°C, astfel încât să aveți întotdeauna cristalul potrivit pentru procesul dumneavoastră. Pot fi disponibile cristale optimizate pentru alte temperaturi. Contactați INFICON pentru nevoile dumneavoastră.
Caracteristici
- Temperatură de funcționare de până la 450°C
- Linia de purjare a gazului menține spatele cristalului liber de materialul de depunere
- Opțiune de flanșă sudată Conflat (CF40)
- Opțiune de racord prin compresie cu inel O
- Cristale disponibile pentru temperaturi înalte
Avantaje
- Compatibil cu majoritatea temperaturilor de proces ALD
- Reduce semnificativ întreținerea
- Maximizează timpul de funcționare al sistemului
- Maximizează precizia măsurătorilor
- Citiri stabile cu zgomot redus la temperaturi ridicate de proces
Aplicații tipice
- Depunere în strat atomic (ALD)
Acoperire în vid
Piețele de acoperire în vid depășesc cu mult limitele opticii și se extind rapid în arene, industrii și straturi de peliculă care erau aproape de neimaginat acum doar zece ani.
Baterie
De la producția de electrozi până la testarea la capătul liniei
Afișaj
INFICON acceptă tehnologie de vârf și permite produse de afișare de cea mai înaltă calitate
Energie
Producția de petrol și gaze a înregistrat o creștere a cererii în ultimele decenii și este propulsată de creșterea populației, urbanizare și clasa de mijloc a consumatorilor din țările în curs de dezvoltare.
IDM și turnătorie de semiconductori
Senzori adaptați pentru a susține o gamă largă de aplicații, asigurând siguranța produsului, randament crescut și productivitate maximă