Gemini® MxG5xx
ATM către manometru de vid ultra-înalt
The INFICON Gemini® Inverted Magnetron Vacuum Gauge is the workhorse for all vacuum measurement applications. While Gemini MPG50x combines two sensor systems in one small device to measure from atmosphere down to 1×10– 9 mbar, the Gemini MAG50x is a pure cold cathode sensor System (without Pirani element) which covers the range from 1×10-2 mbar to 1×10– 9 mbar. The patented ultra-low magnetic stray field design opens up a whole new range of applications. A unique interchangeable dual chamber sensor unit avoids cleaning cycles and reduces maintenance, making Gemini the most robust and economical vacuum gauge of its kind.
Gemini Cold Cathode and combination comes with fully integrated digital electronics, providing ultimate flexibility for system integration. The Cold cathode and Pirani combination version (MPG) option provides seamless transition, reliability, practicality and flexibility across wide ranging applications.
MAG and MPG Gemini are now available with PROFINET, EtherCAT fieldbus and setpoints as MAG55x and MPG55x.
For corrosive applications we suggest to use the ceramic coated version MxG5x4. Feedthrough and Pirani inside the sensor head are fully ceramic coated for enhanced corrosion resistance.
Geminiv® Cold Cathode and combination sensor`s come with fully integrated digital electronics, providing ultimate flexibility for System Integration.
Both, cold cathode and Pirani combination sensor Option provide seamless Transition, reliability, proactivity and flexibility across wide ranging applications.
Avantaje
- Durata de viață lungă în medii dure
- Câmp magnetic vagabond redus
- Aprindere rapidă și fiabilă
- Întreținere rapidă – inserție înlocuibilă
- Dimensiuni compacte – ușor de integrat
- Panouri de alimentare și element senzor rezistente la coroziune
- Curent de măsurare selectabil
- 2 valori de referință pentru relee (în combinație cu MxG55x PROFINET și EtherCAT)
- Interfață digitală PROFINET, EtherCAT și RS232/RS485
Aplicații tipice
- Monitorizarea și controlul presiunii de bază, de la atmosferă la vid înalt în aplicații de evaporare și pulverizare catodică.
- Măsurarea generală a vidului – cuptoare industriale, sticlă arhitecturală, semiconductori, refrigerare/aer condiționat și laboratoare de producție.
- Aplicații analitice și de cercetare și dezvoltare – spectrometrie de masă, microscoape electronice, fizica oftalmologică, optică, medicală și a energiilor înalte.
| MAG5xx | |
|---|---|
| Interval de măsurare (aer, N2) |
1 × 10-9 … 1 × 10-2 mbar (7,6 × 10-10 … 7,6 × 10-3) Torr |
| Precizie (Accuracy) | |
| 1 × 10-8 … 1 × 10-2 mbar | 30% din valoarea citită |
| 1 × 10-2 … 100 mbar | - |
| 100 … 1000 mbar | - |
| Repetabilitate (Repeatability) | |
| 1 × 10-8 … 1 × 10-2 mbar | 5% din valoarea citită |
| 1 × 10-8 … 100 mbar | - |
| Temperatură (Temperature) | |
| Operare (ambiantă) | +5 … +55 °C |
| Degazare (Bakeout) la flanșă (1) | +150 °C |
| Depozitare | -40 … +70 °C |
| Temperatură filament | - |
| Tensiune de alimentare | |
| La senzor (At gauge) (2) | +14,5 … +30 V (dc) |
| Riplu (Ripple) | ≤ 1 V (p-p) |
| Consum de putere | ≤ 3 W |
| Siguranță necesară (Fuse) | ≤ 1 AT |
|
(1) Fără partea electronică. (2) Tensiunea minimă a unității de alimentare trebuie mărită proporțional cu lungimea cablului senzorului. |
|
| MPG5xx | |
|---|---|
| Interval de măsurare (aer, N2) |
1 × 10-9 … 1000 mbar 7,6 × 10-10 … 760 Torr |
| Precizie (Accuracy) | |
| 1 × 10-8 … 1 × 10-2 mbar | 30% din valoarea citită |
| 1 × 10-2 … 100 mbar | 30% din valoarea citită |
| 100 … 1000 mbar | 50% din valoarea citită |
| Repetabilitate (Repeatability) | |
| 1 × 10-8 … 1 × 10-2 mbar | 5% din valoarea citită |
| 1 × 10-8 … 100 mbar | 5% din valoarea citită |
| Temperatură (Temperature) | |
| Operare (ambiantă) | +5 … +55 °C |
| Degazare (Bakeout) la flanșă (1) | +150 °C |
| Depozitare | -40 … +70 °C |
| Temperatură filament | 120 °C |
| Tensiune de alimentare | |
| La senzor (At gauge) (2) | +14,5 … +30 V (dc) |
| Riplu (Ripple) | ≤ 1 V (p-p) |
| Consum de putere | ≤ 3 W |
| Siguranță necesară (Fuse) | ≤ 1 AT |
|
(1) Fără partea electronică. (2) Tensiunea minimă a unității de alimentare trebuie mărită proporțional cu lungimea cablului senzorului. |
|
Instrumentație analitică
Oferă suport utilizatorilor dintr-o gamă largă de aplicații și piețe cu instrumentele lor extrem de sofisticate.
Baterie
De la producția de electrozi până la testarea la capătul liniei
Afișaj
INFICON acceptă tehnologie de vârf și permite produse de afișare de cea mai înaltă calitate
Energie
Producția de petrol și gaze a înregistrat o creștere a cererii în ultimele decenii și este propulsată de creșterea populației, urbanizare și clasa de mijloc a consumatorilor din țările în curs de dezvoltare.
Producție industrială
Vidumul este folosit mai des pentru a garanta un mediu curat și este necesar pentru mai multe procese, însă fără vid nu funcționează.
HVAC/R
Tehnologia de refrigerare și climatizare este, fără îndoială, unul dintre subiectele importante ale secolului XXI. Eficiența utilizării, eficiența energetică și, nu în ultimul rând, temperaturile optime
Mobilitate și industria auto
Testarea fiabilă a scurgerilor într-o industrie în continuă evoluție. Schimbările din industria auto fac testarea scurgerilor și mai importantă.
Cercetare și mediul academic
Dezvăluim cele mai intime mistere ale universului prin cercetare fundamentală. Oferim inovația de astăzi care dă putere tehnologiilor viitorului tău.
Farmaceutică și medicală
Creșterea productivității și contribuția la îndeplinirea standardelor de conformitate și a cerințelor de calitate în industria farmaceutică
IDM și turnătorie de semiconductori
Senzori adaptați pentru a susține o gamă largă de aplicații, asigurând siguranța produsului, randament crescut și productivitate maximă
Acoperire în vid
Piețele de acoperire în vid depășesc cu mult limitele opticii și se extind rapid în arene, industrii și straturi de peliculă care erau aproape de neimaginat acum doar zece ani.