SKY® CDG100D
Controlul temperaturii la 100°C, scală completă 0,1 … 1000 Torr / mbar
Manometrele INFICON SKY CDG100D sunt cea mai bună alegere pentru măsurarea și controlul precis al presiunii totale.
Manometrele CDG100D sunt controlate la temperatură la 100 °C pentru performanțe superioare în procesele solicitante cu semiconductori și plasmă. Sunt disponibile pentru intervale de scală completă de la 100 mTorr la 1000 Torr, cu toate tipurile comune de flanșe și interfețe fieldbus și oferă un semnal de presiune liniar de la 0 la 10 V, independent de tipul de gaz. Manometrele capacitive INFICON utilizează o diafragmă ceramică din alumină ultrapură, rezistentă la coroziune.
Avantajele senzorului ceramic sunt o stabilitate mai bună a semnalului, o recuperare mai rapidă din atmosferă, un timp scurt de încălzire și o durată de viață extraordinară. INFICON CDG sunt senzori de presiune de înaltă calitate și rentabili pentru aplicații solicitante cu semiconductori, plasmă și vid.
De asemenea, disponibile cu interfață digitală PROFINET®!
Avantaje
- Cost de operare (COO) mai mic, încălzire cu 50% mai rapidă, consum redus de energie eficient energetic
- Integrare ușoară, gamă largă de scale complete, flanșe și interfețe, standard cu două puncte de referință
- Comandă zero ușoară cu un singur buton sau semnal de la distanță, offset zero reglabil
- Port de diagnosticare pentru service și întreținere rapidă
- Garanție de doi ani, durată de viață mai lungă cu concept avansat de încălzire și protecție a manometrului
- Nu necesită recalibrare pe termen lung datorită stabilității și repetabilității excelente a semnalului, chiar și în aplicații dure cu plasmă
- Conformitate și standarde: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
Aplicații tipice
- Gravare, CVD, PVD și alte procese de producție a semiconductorilor
- Procese chimice și corozive la temperaturi înalte
- Procese generale cu peliculă subțire și în vid care necesită protecție a calibrului
| 1000 ... 500 Torr / mbar | |
|---|---|
| Precizie (Accuracy) | 0,2% din valoarea citită |
| Rezoluție | 0,003% din FS (Full Scale) |
| Semnal de ieșire (analogic) | 0 … +10 V (dc) |
| Timp de răspuns | 30 ms |
| Materiale expuse la vid | Ceramică de oxid de aluminiu (Al2O3), oțel inoxidabil (AISI 316L) |
| 200 ... 1 Torr / mbar | |
|---|---|
| Precizie (Accuracy) | 0,2% din valoarea citită |
| Rezoluție | 0,003% din FS (Full Scale) |
| Semnal de ieșire (analogic) | 0 … +10 V (dc) |
| Timp de răspuns | 30 ms |
| Materiale expuse la vid | Ceramică de oxid de aluminiu (Al2O3), oțel inoxidabil (AISI 316L) |
| 0.5 ... 0.1 Torr / mbar | |
|---|---|
| Precizie (Accuracy) | 0,4% din valoarea citită |
| Rezoluție | 0,003% din FS (Full Scale) |
| Semnal de ieșire (analogic) | 0 … +10 V (dc) |
| Timp de răspuns | 130 / 30 ms (3) |
| Materiale expuse la vid | Ceramică de oxid de aluminiu (Al2O3), oțel inoxidabil (AISI 316L) |
Instrumentație analitică
Oferă suport utilizatorilor dintr-o gamă largă de aplicații și piețe cu instrumentele lor extrem de sofisticate.
Afișaj
INFICON acceptă tehnologie de vârf și permite produse de afișare de cea mai înaltă calitate
Energie
Producția de petrol și gaze a înregistrat o creștere a cererii în ultimele decenii și este propulsată de creșterea populației, urbanizare și clasa de mijloc a consumatorilor din țările în curs de dezvoltare.
Farmaceutică și medicală
Creșterea productivității și contribuția la îndeplinirea standardelor de conformitate și a cerințelor de calitate în industria farmaceutică
Cercetare și mediul academic
Dezvăluim cele mai intime mistere ale universului prin cercetare fundamentală. Oferim inovația de astăzi care dă putere tehnologiilor viitorului tău.
IDM și turnătorie de semiconductori
Senzori adaptați pentru a susține o gamă largă de aplicații, asigurând siguranța produsului, randament crescut și productivitate maximă
Mobilitate și industria auto
Testarea fiabilă a scurgerilor într-o industrie în continuă evoluție. Schimbările din industria auto fac testarea scurgerilor și mai importantă.
Producție industrială
Vidumul este folosit mai des pentru a garanta un mediu curat și este necesar pentru mai multe procese, însă fără vid nu funcționează.
Acoperire în vid
Piețele de acoperire în vid depășesc cu mult limitele opticii și se extind rapid în arene, industrii și straturi de peliculă care erau aproape de neimaginat acum doar zece ani.