SemiQCM® CR Sensors for Precursor Monitoring
Repetăm excelența
Protejați-vă și creșteți-vă profitul cu monitorizarea precisă a ratei și grosimii
Senzorul SemiQCM CR este un senzor inert chimic care poate fi instalat în unele dintre cele mai dure camere CVD sau ALD. SemiQCM CR este o componentă a unui sistem de monitorizare a precursorilor, celelalte componente fiind un IMM-200 și FabGuard (versiunea 19.12.00-a sau ulterioară).
Monitorizarea semi-procesului poate fi utilizată în aplicații cu semiconductori pentru detectarea punctelor finale și eliminarea defectelor prin monitorizarea cantității de precursor în evacuarea din față sau din cameră. Utilizarea unui QCM in situ oferă o monitorizare a procesului accesibilă și o profitabilitate îmbunătățită a procesului de semiconductori.
Eșecul de a livra precursorul către o plachetă poate fi detectat chiar și într-o singură plachetă.
Caracteristici
- Date QCM monitorizate la 10 Hz
- FabGuard corelează datele QCM cu starea sculei și etapa procesului
- Măsurare precisă a ratelor de depunere sau gravare
- Sensibilitate și precizie pentru măsurarea grosimii sub-monostratului
Avantaje
- Monitorizare in situ, în timp real a procesului
- Prevenirea gravării excesive, identificarea punctului final de curățare a camerei
- Identificarea erorilor de stare a echipamentului sau a procesului
Aplicații tipice
- Producția de semiconductori
| Temperatură maximă | 200°C |
| Dimensiune cap senzor (anvelopă maximă) | 23,9 mm O.D. x 29,2 mm (0,94 in. O.D. x 1,15 in.) |
| Lungime senzor (în vid) | 50–150 mm (1,97–5,91 in.) |
| Flanșă de montare (Feedthrough) | Flanșă ISO KF/CF |
| MATERIALE | |
| Corp și suport | Aluminiu |
| Arcuri | Nichel-beriliu |
| Linie coaxială | Diametru exterior (O.D.) 6,4 mm (0,250 in.), nichel 625 |
| Alte piese mecanice | Nichel 200, aluminiu sau nichel C276 |
| Izolatori | >96% Al2O3 în vid; Teflon® utilizat în rest |
| Cablu/Fir | Ni în vid, Cu placat cu Ni în rest |
| Lipire (Braze) | Aliaj NiCr de înaltă temperatură pentru procese în vid |
| Cristal | Diametru de 14,0 mm (0,551 in.) |
IDM și turnătorie de semiconductori
Senzori adaptați pentru a susține o gamă largă de aplicații, asigurând siguranța produsului, randament crescut și productivitate maximă