IMM-100
Repetarea excelenței
Protejați-vă și creșteți-vă profitul cu monitorizarea precisă a ratei și grosimii
IMM-100 este un monitor de depunere construit cu tehnologia ModeLock pentru a maximiza reproductibilitatea și uniformitatea cu cea mai mare precizie a grosimii, cea mai bună rezoluție de măsurare și cel mai mic zgomot de depunere.
Cu oscilatorul încorporat, IMM-100 poate fi integrat cu ușurință într-un sistem EtherCAT cu hardware și amprentă minime. Acest monitor de măsurare puternic și precis va aduce cu siguranță un nou nivel de performanță procesului dumneavoastră.
Caracteristici
- INFICON ModeLock technology provides the longest crystal life and ensures the most stable, highest resolution rate and thickness measurement available, even at very low rates
- Maximize yield with the best QCM thickness measurement possible
- Single channel rate and thickness monitor without unnecessary added features to minimize cost
- ±0.0035 Hz over 100 ms sample
- EtherCAT communications for seamless integration
- Compact size to minimize integration costs by saving tool real estate
- Expert application support, able to discuss unique application needs and give greater support than the competition
- RoHS compliant
Aplicații tipice
- Aplicații OLED
| Specificații Tehnice Modul Măsurare | |
|---|---|
| Intrări senzori | 1 |
| Interval frecvență de măsurare | 6,0 până la 4,5 MHz (fix) |
| Rezoluție rată și grosime |
$0,0042 \text{ Å}$ (cristal nou); $0,0076 \text{ Å}$ (cristal la $4,5 \text{ MHz}$) Eșantionare la 100 ms pentru densitate material = 1,0, Z-Ratio = 1,0 |
| Tip comunicație | EtherCAT, 2 mufe RJ45, suportă conectarea în serie (daisy chaining). ID dispozitiv explicit prin comutatoare. |
Afișaj
INFICON acceptă tehnologie de vârf și permite produse de afișare de cea mai înaltă calitate