Augent® OPG550
Manometru optic cu plasmă
Manometrul optic cu plasmă INFICON Augent® este o soluție compactă și inteligentă pentru monitorizarea vidului.
Augent combină două tehnologii de senzori într-un singur dispozitiv compact pentru monitorizarea tipului de gaz de la 1 x 10⁻⁷ la 5 mbar și pentru măsurarea simultană a presiunii totale de la 1 x 10⁻⁷ mbar în atmosferă. Augent este protejat de un senzor Pirani integrat pentru a opri plasma peste 20 mbar. Principiul de măsurare optică rapidă permite detectarea, în principiu, a oricărui tip de gaz.
Avantaje
- Detectarea rapidă a scurgerilor permite testarea scurgerilor în cameră
- Creșterea productivității și a randamentului
- Durata lungă de viață, fără arsuri ale filamentului, protecție la supratensiune
- Rezistență la chimia procesului
- Algoritm inteligent pentru integrare ușoară
- Design compact și amprentă redusă
- Pornire fiabilă și rapidă
Aplicații tipice
- Verificarea scurgerilor din cameră, test RoR (viteză de creștere) mai rapid
- Verificarea scurgerilor pentru a găsi scurgeri interne din conductele de alimentare cu gaz
- Controlul punctului final în timp real
- Controlul tipului și concentrațiilor de gaz
| Interval de măsurare (N₂) | 1×10⁻⁷ … 5 mbar (7.6×10⁻⁸ … 3.8 Torr) |
| Precizie citire presiune totală (N₂) |
1 x 10⁻⁷ ... 100 mbar: 30% din valoare 100 ... 1000 mbar: 50% din valoare |
| Repetabilitate (N₂) | 5% din valoarea citită (pentru 1 x 10⁻⁷ ... 100 mbar) |
| Temperatură |
• Operare (ambientală): +5 … +50 °C • Depozitare: -20 … +70 °C • Degasare (bakeout) la flanșă cu unitatea electronică: ≤ 80 °C • Degasare (bakeout) la flanșă fără unitatea electronică: ≤ 120 °C |
| Alimentare electrică |
• Tensiune la senzor: +14.5 … +30 V (dc) • Ripple: ≤ 1 V (p-p) • Consum putere: ≤ 5 W • Siguranță necesară: 1 AT |
| Materiale expuse la vacuum |
• General: Al₂O₃, Oțel Inoxidabil • Anod: Molibden • Cameră de ionizare: Titan, Oțel Inoxidabil • Ajutor aprindere: Oțel Inoxidabil |
Cum se curăță senzorul?
Cum se înlocuiește senzorul?
Afișaj
INFICON acceptă tehnologie de vârf și permite produse de afișare de cea mai înaltă calitate.
IDM și turnătorie de semiconductori
Senzori adaptați pentru a susține o gamă largă de aplicații, asigurând siguranța produsului, randament crescut și productivitate maximă.
Acoperire în vid
Piețele de acoperire în vid depășesc cu mult limitele opticii și se extind rapid în arene, industrii și straturi de peliculă care erau aproape de neimaginat acum doar zece ani.
Instrumentație analitică
Oferă suport utilizatorilor dintr-o gamă largă de aplicații și piețe cu instrumentele lor extrem de sofisticate.
Farmaceutice și medicale
Creșterea productivității și contribuția la îndeplinirea standardelor de conformitate și a cerințelor de calitate în industria farmaceutică.
Baterie
De la producția de electrozi până la testarea la capătul liniei
Energie
Producția de petrol și gaze a înregistrat o creștere a cererii în ultimele decenii și este propulsată de creșterea populației, urbanizare și clasa de mijloc a consumatorilor din țările în curs de dezvoltare.
Producție industrială
Vidumul este folosit mai des pentru a garanta un mediu curat și este necesar pentru mai multe procese, însă fără vid nu funcționează.
Mobilitate și industria auto
Testarea fiabilă a scurgerilor într-o industrie în continuă evoluție. Schimbările din industria auto fac testarea scurgerilor și mai importantă.
Cercetare și mediul academic
Dezvăluim cele mai intime mistere ale universului prin cercetare fundamentală. Oferim inovația de astăzi care dă putere tehnologiilor viitorului tău.
HVAC/R
Tehnologia de refrigerare și climatizare este, fără îndoială, unul dintre subiectele importante ale secolului XXI. Eficiența utilizării, eficiența energetică și, nu în ultimul rând, temperaturile optime