Vacuum installations for coating applications

De la protecția împotriva uzurii componentelor mecanice până la acoperirea componentelor optice sau metalizarea suprafețelor din plastic: toate aceste procese au loc în condiții de vid.

Soluții de acoperire în vid

Acoperirea în vid este una dintre cele mai eficiente modalități de a adăuga straturi de înaltă performanță pe suprafețele diferitelor produse, îmbunătățind astfel valoarea pentru clienți. Acoperirea în vid este un segment de înaltă tehnologie și în continuă evoluție al pieței de producție, în care soluțiile Leybold stabilesc standardele.

Acoperirile în vid sunt utilizate într-o gamă largă de aplicații, cum ar fi:

  • Acoperiri de sticlă Low-E pentru reflectarea energiei solare, rămânând în același timp 100% transparente. Acoperirea Low-E este un produs eficient din punct de vedere energetic care ajută la reducerea consumului de energie.
  • Acoperiri pe sticlă arhitecturală pentru îmbunătățirea esteticii zgârie-norilor moderni prin fațade luminoase transparente, păstrând în același timp proprietățile sticlei Low-E.
  • Acoperiri rezistente la uzură și dure pentru îmbunătățirea utilizării sculelor de tăiere la viteze mari de tăiere.
  • Acoperiri funcționale utilizate în producția de panouri solare, afișaje și senzori tactili, care permit dispozitivelor moderne să fie supuse unei dezvoltări constante și îmbunătățirii calității.
    Acoperiri optice speciale pentru crearea de filtre optice, lentile, suprafețe reflectorizante și antireflexive.
  • Acoperiri decorative, cum ar fi acoperiri cu reflexie ridicată pentru finisaje de lux pe piese și produse.

Cerințele pieței de acoperire în vid determină în mod constant Leybold să ofere produse optimizate și soluții de vid specifice clienților, inclusiv pompe de vid pentru suprafețe mari, pompe de vid înalt, controale de vid, dispozitive de măsurare a vidului și sisteme de detectare a scurgerilor.

Pompele de vid și soluțiile Leybold oferă

  • Performanță crescută a sistemelor de vid, inclusiv creșterea timpului de funcționare și reducerea perioadelor de inactivitate

  • Mentenanță predictibilă și intuitivă utilizând tehnologia IoT

  • Design de produs optimizat pentru o operare ecologică

  • Structură transparentă a costurilor de operare cu un consum eficient de energie

  • Aliniere perfectă cu operațiunile de producție fiabile în medii cu regim de lucru 24/7

  • O gândire „verde” și un concept de reducere a CO2 stau la baza ideii de proiectare pentru fiecare produs nou

Procese suplimentare de acoperire UNIVEX

DRYVAC

O familie modernă de pompe de vid uscate, cu șurub, eficiente din punct de vedere energetic și al costurilor, cu o robustețe fără precedent. DRYVAC poate gestiona ventilații repetate sub șoc în timpul proceselor de load-lock (ecluzare), precum și sarcini mari de praf și gaze în timpul procesului de sputtering.

Pompele DRYVAC reprezintă „noua generație” de pompe de vid primar și sunt deja un standard în industrie. Caracteristicile lor se aliniază perfect cu cerințele actuale ale pieței, fiind proiectate pentru o funcționare ecologică și oferind un plan de service convenabil și transparent.

Pompa de vid uscată DRYVAC 650 FP

DRYVAC PowerBoost

Uneori este necesară o soluție complet integrată – de exemplu, pentru camerele de transfer (load locks) ale sistemelor de acoperire inline care necesită explozii puternice de energie. DRYVAC PowerBoost este o combinație între o pompă DRYVAC și o pompă booster RUVAC, dotată cu un modul electronic inteligent.

Acest sistem adaptează automat performanța pompei booster RUVAC pentru a obține timpi de ciclu mai scurți și un consum redus de energie. Pentru mediile de tip cameră curată (TFT, SEMI și FPD), DRYVAC PowerBoost oferă cea mai bună performanță posibilă cu cea mai mică amprentă asupra mediului.

Sistem DRYVAC PowerBoost

RUVAC

Pomparea volumelor mari necesită o pompă booster de înaltă performanță. Pompele noastre booster clasice, RUVAC WA(U) și WS(U), precum și modelul inovator RUVAC WH(U) cu etanșare hermetică, pot funcționa fie cu acționare directă, fie pot fi conduse de un convertizor de frecvență. Acesta din urmă le permite să ruleze la viteze de rotație și debite de pompare mai mari în mod continuu.

Cu o capacitate cuprinsă între 250 și 7000 m³/h, putem proiecta sisteme de acoperire în vid de toate dimensiunile.

Pompă booster RUVAC tip Roots

SOGEVAC

Familia de pompe cu palete rotative SOGEVAC este o soluție consacrată pentru vidul primar utilizată în aplicațiile de acoperire. De câteva decenii, pompele SOGEVAC etanșate cu ulei reprezintă prima alegere a clienților care caută pompe de vid fiabile, având cea mai bună reputație în domeniu.

[Image of rotary vane vacuum pump working principle]

În mod obișnuit, veți găsi pompele SOGEVAC în sisteme combinate cu pompele booster RUVAC (Roots). Familia SOGEVAC este disponibilă într-o gamă largă de viteze de pompare, de la 16 m³/h la 750 m³/h, ceea ce permite utilizarea acestora de la sisteme de sputtering compacte (table-top) până la mașini industriale de sputtering de mari dimensiuni.

Pompă de vid cu palete rotative SOGEVAC

TURBOVAC MAG

Pompele de vid turbomoleculare cu levitație magnetică TURBOVAC MAGiNTEGRA sunt pompe de înalt vacuum testate în producție, care generează un vid fără hidrocarburi pentru aplicații provocatoare. Datorită robusteții lor, particulele generate în procesul de acoperire pot fi tolerate, la fel ca și fluxurile mari de gaz care apar în unele aplicații de acoperire la scară industrială.

Pompa TURBOVAC MAGiNTEGRA este soluția noastră cea mai potrivită pentru vid înalt în sistemele de sputtering. Aceste pompe oferă costuri reduse de întreținere și performanțe ridicate în ceea ce privește raportul viteză de pompare-dimensiune-debit. Dacă aveți nevoie de o pompă de vid înalt pentru aplicații de acoperire pe suprafețe mari, TURBOVAC MAGiNTEGRA este soluția ideală.

Pompe turbomoleculare cu levitație magnetică TURBOVAC MAGiNTEGRA

TURBOVAC i/iX

Familia TURBOVAC i cuprinde o gamă de pompe de vid turbomoleculare mecanice ce oferă diverse modele optimizate pentru aplicații industriale. Datorită designului lor special, versiunea noastră robustă TURBOVAC i IND este cea mai potrivită pentru a tolera particulele generate în procesul de acoperire sau fluxurile mari de gaz necesare în anumite aplicații de depunere, fiind ideală pentru camerele de vid de dimensiuni mici și medii.

Grup de pompe turbomoleculare TURBOVAC i/iX

Pompe de difuzie

Pompele de difuzie pentru vid înalt sunt suficient de versatile pentru numeroase aplicații, fiind deosebit de utile pentru acoperiri decorative, tratamente de protecție împotriva uzurii și acoperiri de tip roll-to-roll (rolă-la-rolă). Pompele noastre de difuzie din gamele DIP și DIJ, robuste și rentabile, oferă cel mai bun raport preț-viteză de pompare pentru orice aplicație care necesită vid înalt.

Pompe de difuzie cu ulei gama DIJ

COOLVAC

O familie de pompe de vid înalt concepută pentru a obține un vid fără umiditate și fără urme de ulei, atingând presiuni reziduale extrem de scăzute, de până la 10-9 mbar.

Straturile optice trebuie să fie cât mai pure posibil pentru a obține proprietățile corecte – așadar, dacă puritatea sistemului de vid joacă un rol esențial, atunci COOLVAC este alegerea potrivită.

Pompă criogenică COOLVAC - Vedere frontală

Senzori de măsurare a vidului (Vacuum gauges)

O presiune stabilă a vidului este esențială pentru obținerea constantă a unor acoperiri de înaltă calitate. În funcție de proces, de nivelul de vid și de precizia necesară, se utilizează diverși senzori pentru a monitoriza sau chiar pentru a controla nivelul de vid.

De la senzorii TTR91 sau TTR101 pentru vid brut, până la ITR90 pentru niveluri de vid înalt, oferim o gamă completă de vacuometre pentru a răspunde nevoilor dumneavoastră de procesare. Pentru procesele de acoperire în vid, este crucial să se obțină o presiune exactă în timpul sputtering-ului și o presiune reziduală scăzută.

În anumite procese de sputtering de înaltă precizie, acuratețea măsurării presiunii joacă un rol vital. Am dezvoltat propria noastră familie de senzori de vid care oferă un sistem de măsurare și control pentru toate dimensiunile și toate nivelurile de precizie.

Grup de senzori pentru măsurarea vidului Leybold

Detectarea scurgerilor (Leak detection)

Un sistem de vid etanș este o condiție prealabilă pentru un proces de acoperire stabil, asigurând o calitate uniformă a produsului. Prin urmare, sistemele de acoperire sunt testate împotriva scurgerilor cu gama noastră de detectoare de heliu PHOENIX. Această gamă include atât soluții cu pompare umedă, cât și uscată, precum și sisteme mobile sau montate pe cărucior.

Detectoare de scurgeri cu heliu PHOENIX - Vario, Quadro și MOBILIS Ultra

Fitinguri și valve de vid

Un sistem de vid nu este complet fără componente speciale etanșe, fitinguri și valve. Toate accesoriile noastre — de la valve, garnituri de etanșare, până la conducte și furtunuri — se potrivesc perfect cu pompele noastre și respectă toate standardele internaționale, precum ISO-K și ISO-CF.

Componente de vid, flanșe și fitinguri Leybold

Optical Coatings

Architectural Glass Coating & Car Glass

Wear Protection & Decorative Coatings

Roll-to-roll Film Coating

Display Coating Solutions

Parylene

DRYVAC - Dry screw vacuum pumps

DRYVAC PowerBoost

Roots blowers

SOGEVAC B - Single-stage rotary vane vacuum pumps

TURBOVAC MAG – Magnetically levitated turbo pumps

TURBOVAC i - Mechanical turbo pumps

COOLVAC e - Cryogenic Vacuum Pumps

Vacuum measurement & control

Leak detection - Leak testing

Vacuum hardware and valves

Oil diffusion vacuum pumps